膜厚測定

FF8 非接触膜厚測定システム

R&D対応・インライン対応

特徴

  1. サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、FFT(高速フーリエ変換)等によって膜厚値の解析を行います。
  2. 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行えます。 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・色測定・成分濃度解析も可能です。
  3. 測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能です。
  4. 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、インラインの膜厚測定としてもご使用頂けます。
測定画面イメージ
測定範囲
(分解能)
0.01μm~50μm (0.1nm)
0.5μm~50μm (0.1nm)
1μm~200μm (0.001μm)
4μm~800μm (0.001μm)
Si02膜(膜厚:500nm)の測定例
ビニール(厚み:11μm)の測定例
アルミ酸化膜(膜厚:10μm)の測定例
プリント基板のレジスト膜の測定例

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