膜厚測定 システムロード

特徴

1. サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、FFT（高速フーリエ変換）等によって膜厚値の解析を行います。
2. 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行えます。 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・色測定・成分濃度解析も可能です。
3. 測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能です。
4. 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、インラインの膜厚測定としてもご使用頂けます。

測定範囲（分解能）(μm)		対応仕様例
0.0010～100	0.0001	薄膜+薄膜解析仕様
0.0100～100	0.0001	標準+薄膜解析仕様
0.5000～100	0.0001	標準仕様
1.000～500	0.001	厚膜１仕様
4.000～2000	0.001	厚膜２仕様

 

SR-5000による測定データを読み込み、膜厚演算や解析などを行うソフトウェアです。

特徴

標準仕様

　0.5μｍ ～ 15μｍ（0.001μｍ）

標準 ＋ 薄膜解析

　0.01μｍ ～ 15μｍ（0.001μｍ、0.1nm）

条件設定	膜層の屈折率等を設定します
カメラ画像	測定画像等を表示します
膜厚分布	膜厚分布を 3D 表示します
膜厚グラフ	膜厚をグラフ表示します
スペクトル	指定位置のスペクトルを表示します
データ表示	各種データ詳細を表示します

保存	データを CSV 等で保存できます
読込	SR-5000の測定データを読み込みます
解析	読み込まれた測定データを解析し、 膜厚分布演算を行います。

型式	品名	備考
SR10-FF	2D 膜厚解析ソフト
SR10-FF-2D	標準 2D 仕様	0.5～15μｍの FFT 膜厚測定。
OP-ML	オプション：多層膜対応	標準 FFT では 1～3 層、カーブフィット法では 1～10 層。
OP-QC	オプション： QC 対応（測定・解析・判定）	トプコンテクノハウス製のレシピファイルを登録し測定・解析・判定を行う事が出来ます。
OP-FIT	オプション： カーブフィット解析＋多層膜	0.01～15μｍの膜厚測定。 シミュレーション機能搭載。 オプション多層膜解析含みます。
OP-MI	オプション：顕微対応	バックグランド補正。NA 補正。
OP-MA	オプション：他国言語対応	初期値には英語が入っています。 別言語をお客様が入力可能です。
SR10-FF	2D 膜厚ハードウェア
BOX-1	2D 膜厚マクロ測定 BOX	サンプル台（100ｍｍ角）・反射光学系・光源・暗箱など。